La fotolitografía es un proceso utilizado en la microfabricación para transferir patrones geométricos a una película o sustrato. Las formas geométricas y los patrones en un semiconductor conforman las estructuras complejas que permiten que los dopantes, las propiedades eléctricas y los cables completen un circuito y cumplan un propósito tecnológico.
¿Qué es el proceso de fotolitografía?
La fotolitografía, también llamada litografía óptica o litografía UV, es un proceso que se utiliza en la microfabricación para modelar piezas en una película delgada o en la mayor parte de un sustrato (también llamado oblea). … En circuitos integrados complejos, una oblea CMOS puede pasar por el ciclo fotolitográfico hasta 50 veces.
¿Qué es el proceso de microfabricación?
La microfabricación es el proceso de fabricación de estructuras en miniatura de escalas micrométricas y más pequeñas. … Los principales conceptos y principios de la microfabricación son la microlitografía, el dopaje, las películas delgadas, el grabado, la unión y el pulido.
¿Qué es el proceso de litografía en semiconductores?
Un sistema de litografía de semiconductores lleva a cabo un proceso mediante el cual los patrones de circuito muy complejos dibujados en una fotomáscara hecha de una gran placa de vidrio se reducen utilizando lentes de ultra alto rendimiento y se exponen en un sustrato de silicio conocido comouna oblea. …
¿Qué es la litografía en el proceso de fabricación?
La litografía esel proceso de transferencia de patrones de formas geométricas en una máscara a una fina capa de material sensible a la radiación (llamada resistencia) que cubre la superficie de una oblea semiconductora. La figura 5.1 ilustra esquemáticamente el proceso litográfico empleado en la fabricación de circuitos integrados.
