La fotolitografía se usa comúnmente para producir chips de computadora. Al producir chips de computadora, el material del sustrato es una oblea de silicio cubierta de resistencia. Este proceso permite construir simultáneamente cientos de chips en una sola oblea de silicio.
¿Cómo se hace la fotolitografía?
La fotolitografía utiliza tres pasos básicos del proceso para transferir un patrón de una máscara a una oblea: recubrir, revelar, exponer. El patrón se transfiere a la capa superficial de la oblea durante un proceso posterior. En algunos casos, el patrón de resistencia también se puede usar para definir el patrón de una película delgada depositada.
¿Por qué se llama fotolitografía?
Litografía de semiconductores (fotolitografía) - El proceso básico . La fabricación de un circuito integrado (IC) requiere una variedad de procesos físicos y químicos realizados en un sustrato semiconductor (por ejemplo, silicio). … La palabra litografía proviene del griego lithos, que significa piedras, y graphia, que significa escribir.
¿Por qué es importante la litografía?
La litografía es el proceso de transferir patrones de formas geométricas en una máscara a una fina capa de material sensible a la radiación (llamada resistencia) que cubre la superficie de una oblea semiconductora. La figura 5.1 ilustra esquemáticamente el proceso litográfico empleado en la fabricación de circuitos integrados.
¿Cuál es el método más utilizado en los métodos litográficos?
ÓpticaLa litografía es una técnica basada en fotones que consiste en proyectar una imagen en una emulsión fotosensible (fotoprotector) recubierta sobre un sustrato, como una oblea de silicio. Es el proceso de litografía más utilizado en la fabricación de alto volumen de nanoelectrónica por parte de la industria de los semiconductores.
